为了使碳化硅生产符合生产流程且洁净度达标，碳化硅无尘车间的设计工作就至关重要，需要合理布局与规划。所有装修工作需依据工艺设计图纸进行，才能保证工艺可行性。
一、碳化硅无尘车间墙体隔断装修注意事项
碳化硅无尘车间装修墙面应光滑、平整抗尘，耐腐蚀，色彩协调，并且具备抗腐蚀、耐磨损的特征。墙面与地面相交处要防止缝隙，以减少灰尘积聚和便于清洁，便于清洁。物流通道等易撞处墙边宜设置防撞护栏，防止因装修材料震动而脱落灰尘。
二、碳化硅无尘车间门窗装修注意事项
碳化硅无车车间装修时，不同洁净等级的房间之间的门窗缝隙要做密封处理。门窗材料应选择耐热性好，自然变形小，气密性好的，造型要简单大方，不积尘，便于清扫。洁净厂房的门窗宜用金属或金属涂塑材料，不得使用木门窗，以免长期受潮长菌。外墙上的窗宜与内墙面平整，窗台呈斜角或不留窗台，且为双层固定窗以减少能量损失。
三、碳化硅无尘车间通道装修注意事项
装修无车车间在建筑布局上一般在厂房外设置一环形密封通道。它使洁净区与外界有了一个缓冲区域。能够防止外界污染同时也相对节能。厂房内门窗宜与内墙面平整，不设置窗台。外窗的层数设置和结构形式要充分考虑对空气水分的密封，使污染粒子不易从外部渗入。
四、碳化硅无尘车间吊顶装修注意事项
碳化硅无尘车间装修吊顶与墙面要连接平整光滑。吊顶与送回风管间要确保封闭。吊顶安装完成后要进行灯检，保证无缝隙。一般情况下，技术夹层内应当设置检修走道，便于管道的检修和过滤器的定期更换。为了保证碳化硅无尘车间室内清洁，所有送风管，灯具必须布置在技术夹层里。顶部多采用烤漆方通支撑，重量轻，整体强度大，整体性好，保温隔热发尘小等特点，比较适用于无尘车间。
五、碳化硅无尘车间地面装修注意事项
碳化硅无尘车间装修具有防静电，发尘小，耐磨耐冲击等特点但是造价高。目前大多采用pvc地板或环氧自流坪地板。PVC地板是通过聚氯乙烯材料制作加工出来的地板，具有绿色环保、超轻超薄、防水防火等多种特征，且安装操作快捷简单。而自流坪地板有很强的自动找平功能，可以自行修补地板间的高低差，使所有地板露出面位都保持在同一水平线上，同时这类地板还具有耐摩擦的特性。
