真空镀膜机加装 Polycold
真空镀膜机(溅镀、蒸镀)一般使用油扩散泵抽真空，腔体内会残留大量水汽和油蒸汽，不但影响抽真空的时间，水汽和油蒸汽还是镀膜工件主要的污染源，从而影响镀膜产品的产量和质量。真空镀膜设备通过加装上海伯东代理的美国 Polycold 冷冻机（水汽深冷泵）在真空度 10-2 至 10-8 mabr 之间快速吸附真空腔内残余水汽和油气，真空抽气时间缩短 75%，企业产能可增加 20% 到 100%，Polycold 冷冻机目前已广泛加装在光驰 Optorun、新柯隆 Shincron、莱宝 Leybold 真空镀膜机。
上海伯东 Polycold 冷冻机利用新型无毒环保型冷媒，可完全替代目前液氮 LN2 冷冻法。与传统 LN2 冷却法对比，冷媒可循环使用，更加降低了企业成本。与高温烘烤方法对比，高温烘烤只是把水分子从基片表面迁移，使基片减少对水蒸气的吸附，但是水蒸气还是存在于腔体内，依然影响抽气效率。Polycold 冷冻机是将 90% 以上的水分子吸附在低温盘管（Cryocoil）的表面，同时吸附掉真空腔内部分油分子，如果在真空腔水冷阱的上面放置 Polycold 冷阱，不仅能吸抽水汽还可以防止扩散泵返油。
目前在售 Polycold 型号：
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型号 |
MaxCool 4000 H |
MaxCool 2500 L |
PFC-552 HC |
PFC-672 HC |
PFC-1102 HC * |
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最大负载 Watts |
4,000 |
2,500 |
1,000 |
1,500 |
3,600 |
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抽水汽效率 l/s |
220,000 |
140,000 |
50,000 |
70,000 |
200,000 |
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极限真空 mbar |
7 x 10-8 |
1 x 10-9 |
3x10-9 |
8x10-9 |
4x10-8 |
* Polycold PFC-1102 HC 已经停产，替代型号 MaxCool 4000 H
美国 Brooks 旗下 Polycold 冷冻机(水汽深冷泵)，超过40年的冷冻机研发及制造经验。Polycold 冷冻机辅助抽真空，在真空度 10-2 至 10-8 mabr 之间快速吸附真空腔内残余水汽和油气，帮助企业显著提升产能和镀膜质量。Polycold 冷冻机广泛应用于镀膜和半导体厂商。上海伯东是美国 Polycold 冷冻机中国地区唯一指定总代理，全权负责 Polycold 销售和售后维修服务。
